自動(dòng)供液系統(tǒng)（CDS)

主要用途：本設(shè)備主要用于濕法蝕刻清洗等制程工序需要使用的蝕刻液集中,進(jìn)行配送，經(jīng)管道送至設(shè)備；具有自動(dòng)化程度高、配比精確、操,作簡便等特點(diǎn)，而且具有良好的耐腐蝕性能；適用化學(xué)品：氫氟酸(HF),硝酸(HNO3),雙氧水(H2O2),氫氧化鉀(KOH),氨水(NH4OH),氫氧化鈉(NaOH),鹽酸(HCL),硫酸(H2SO4),異丙醇(IPA)等；選配模塊： 一用一備雙桶式或單桶式； 具備循環(huán)、過濾功能，可根據(jù)客戶的工藝選配多組過濾、循環(huán)系統(tǒng)； 當(dāng)其中一支桶內(nèi)的液體用完時(shí)，能夠自動(dòng)進(jìn)行不間斷雙桶切換； 具備化學(xué)液的取樣檢測(cè)功能； 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理；機(jī)臺(tái)特點(diǎn)： 化學(xué)品集中及持續(xù)不間斷供應(yīng)，多點(diǎn)分配；有防氣泡裝置，防止因氣泡影響配液精度； 可同時(shí)放置兩個(gè)20L/50L/200L等標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)品儲(chǔ)液桶；化學(xué)品輸送流量：≤60L/min； 定時(shí)補(bǔ)充藥液或定量補(bǔ)充藥液，參數(shù)均可在觸摸屏上設(shè)定； 作業(yè)區(qū)內(nèi)酸堿氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全； 客制化設(shè)計(jì)能力佳，高設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要；設(shè)備制造：北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）.