CGO-高低溫真空探針臺

溫度范圍77K-675K(液氮)；

可應用于真空及常規(guī)環(huán)境；

超高溫度分辨率；

特殊客制低溫系統(tǒng)；

具有極高穩(wěn)定性

特點/應用

2至6英寸樣品臺

高真空腔體

防輻射屏設計，樣品溫度均勻性更好

77K-675K高低溫環(huán)境

兼容IV/CV/RF測試

外置多探針臂，移動行程大

經(jīng)濟實用，可無縫升級

高低溫真空探針臺

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

高溫無氧化測試：

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

腔體規(guī)格

型號：CGO-2/CGO-4/CGO-6

樣品臺尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸

真空度：10-6torr

探針臂接口：4~6個探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦/制冷機

溫度范圍：77K到573K/4.5K到573K

溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K

穩(wěn)定性：±1K/±0.1K/±0.01K

外形：880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高

重量：約100千克/120千克

光學系統(tǒng)：

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動行程：水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂

X-Y-Z移動行程：50mm*50mm*50mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動精度：10微米/1微米

線纜：同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

頻率支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

其他組件

真空組件：分子泵組/機械泵/離子泵

冷源組件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機

可選附件

超高溫配件、顯示器、轉(zhuǎn)接頭、射頻測試配件、屏蔽箱、光學平臺、鍍金卡盤、光電測試配件、高壓測試配件、分子泵組、激光系統(tǒng)、氣敏測試配件。