熱場均勻性控制采用多溫區(qū)獨立PID算法,溫差控制在±0.5℃范圍內,通過CFD流體仿真優(yōu)化風道結構,解決傳統(tǒng)烘箱邊緣效應問題
潔凈度保障體系配備HEPA+ULPA雙重過濾系統(tǒng),顆粒物控制達ISO Class3標準,腔體采用電拋光不銹鋼材質,表面粗糙度Ra≤0.4μm
能效比突破引入余熱回收裝置降低30%能耗,紅外輻射加熱模塊響應速度<5秒,較傳統(tǒng)電阻加熱節(jié)能42%
智能化升級集成MES系統(tǒng)接口實現配方云端管理,配備AI溫度預測模型,可提前15分鐘預警溫漂趨勢
特殊工藝適配開發(fā)氮氣環(huán)境烘烤模式(氧含量<10ppm),支持Invar鋼載具的磁性定位加熱,滿足3D封裝工藝需求