FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔氣體。封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,傳感器計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比提高
- 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時(shí)間快
主要參數(shù)：
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性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
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量程比 |
≥100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重復(fù)性 |
0.25 |
%讀數(shù) |
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零點(diǎn)輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應(yīng)時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露） |
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機(jī)械接口 |
可拆式軟管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
