刻蝕機是一種用于微納加工的技術設備，‌主要用于在材料表面去除特定部分，‌以形成所需的微納結構。‌ 刻蝕機通過物理撞擊或化學反應的方式，‌精確地控制和調整材料的去除，‌是實現(xiàn)微電子、‌光電子等領域中微納結構制造的關鍵設備之一。‌根據(jù)工作原理和使用的技術不同，‌刻蝕機可以分為多種類型，‌包括干法刻蝕機和濕法刻蝕機。‌