Surpass系列 干法刻蝕機(jī)，特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結(jié)構(gòu)的基片刻蝕，刻蝕尺寸可達(dá)φ2500mm，通過(guò)高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng)，可達(dá)到基片有效刻蝕區(qū)域內(nèi)均勻性較高的技術(shù)指標(biāo)，滿足大口徑基片刻蝕的需求。