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PFA清洗花籃4寸6寸耐強(qiáng)酸晶圓盒運(yùn)輸硅片

  • 發(fā)布時(shí)間：2023-12-07 10:44:32,加入時(shí)間:2019年08月15日(距今2229天)
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它主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。

名稱

規(guī)格

耐溫性

應(yīng)用

PFA花籃

PP Cassette

2寸

-200~260℃

酸堿傳輸制程

特點(diǎn)：

1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿

2.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb

3.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染

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