NE-PE150F是一款大型工業(yè)用真空等離子處理系統(tǒng)，設(shè)備配備大功率、大腔體、密度大、高穩(wěn)定性，適用于大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)。設(shè)備采用進(jìn)口品牌高性能真空泵快速產(chǎn)生超低的真空壓強(qiáng)。同時根據(jù)客戶工藝要求，對真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，采用進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復(fù)雜的物理，化學(xué)反應(yīng)，可以實現(xiàn)不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見光。

v 抽真空系統(tǒng)包含真空泵、真空測量儀、真空管道等。

v 真空泵抽真空時間≤60S，真空度可達(dá)20PA以內(nèi)。

v 工作真空度：20-30Pa，可自動進(jìn)行壓力控制。

v 破真空時間：≤30s。

v 真空探測儀采用電阻式皮拉尼真空計，使用壽命長，探測精準(zhǔn)。

v 真空管道采用316不銹鋼材質(zhì)穩(wěn)定可靠。

設(shè)備優(yōu)勢

ü 腔體采用進(jìn)口鋁合金材質(zhì)，無金屬污染；

ü 通過COMSOL專業(yè)仿真模擬測試，結(jié)合多次驗證結(jié)果，得到最優(yōu)腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計，保證清洗效果和均勻性；

ü 每層極板配備托盤，有效避免離子濺射，保證處理可靠性；

ü CCP放電模式，全自動匹配RF射頻電源；

ü 獨特的腔體進(jìn)氣系統(tǒng)，進(jìn)氣均勻，保證電離效果均勻性；

ü 出廠前氦氣檢漏儀撿漏，保證腔體密封性；

ü 進(jìn)氣、抽氣、破真空全獨立系統(tǒng)，且破真空系統(tǒng)可接氮氣，確保腔體氣體清潔性；

ü 真空泵出口加裝排氣裝置、過濾器。