1.在被抽器件或工作中房間內(nèi)得到需要的極限真空泵和工作中真空度。
極限真空度就是指器件在無漏放氣時所做到的真空度,工作中真空度就是指在器件開展真空泵解決時能夠保持的真空度。
2.為得到某一工作中真空度需要的時間
這時間決策于真空系統(tǒng)抽速的尺寸。提升抽速可減少這一時間。大的個人工作室顯而易見必須大的抽速。有時候個人工作室盡管并不大,但因為漏放氣比較嚴重,則真空系統(tǒng)也必須大的抽速,不然很多的漏放氣將大幅度降低真空度,使系統(tǒng)軟件沒法工作中。
3.在被抽器件或工作中房間內(nèi)有適合的殘氣成份
實踐經(jīng)驗,單純性提升和確保極限真空度及工作中真空度是不足的,還解決殘留汽體成份有一定的規(guī)定。
4.真空系統(tǒng)還務必構造簡易、特性靠譜、實際操作維護保養(yǎng)便捷、價格低等
要考慮這種規(guī)定,務必從泵的挑選、管路規(guī)格的明確及布局、機械加工工藝等各個方面綜合性考慮到。所述這種基礎規(guī)定常常是互相聯(lián)絡的。
5.自動化技術規(guī)定
伴隨著電子信息技術的發(fā)展趨勢,客戶對真空系統(tǒng)的自動化技術規(guī)定也持續(xù)提高。針對真空系統(tǒng),自動控制系統(tǒng)主要是對機械泵總流量和真空度的調(diào)整。真空度經(jīng)常根據(jù)調(diào)整機械泵總流量、安裝溢流閥、減壓閥來操縱。
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