有機廢氣在化學反應過程中，利用催化劑降低燃燒溫度，加速有毒有害氣體完全氧化的方法，叫做催化燃燒法。由于催化劑的載體是由多孔材料制作的，具有較大的比表面積和合適的孔徑，當加熱到300~450℃的有機氣體通過催化層時，氧和有機氣體被吸附在多孔材料表層的催化劑上，增加了氧和有機氣體接觸碰撞的機會，提高了活性，使有機氣體與氧產(chǎn)生劇烈的化學反應而生成CO2和H2O，同時產(chǎn)生熱量，從而使得有機氣體變成無毒無害氣體。催化燃燒裝置主要由熱交換器、燃燒室、催化反應器、熱回收系統(tǒng)和凈化煙氣的排放煙囪等部分組成，如右圖所示。其凈化原理是：未凈化氣體在進入燃燒室以前，先經(jīng)過熱交換器被預熱后送至燃燒室，在燃燒室內(nèi)達到所要求的反應溫度，氧化反應在催化反應器中進行，凈化后煙氣經(jīng)熱交換器釋放出部分熱量，再由煙囪排入大氣。

1、光解式廢氣凈化設備。通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無害無味氣 體。通俗的講光催化氧化就是在外界可見光的作用下發(fā)作催化作用，光催化氧化反應是以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將有機物降解為CO2和H2O及其它無害成份。

2、低溫等離子廢氣處理設備。低溫等離子技術在是廢氣處理的前沿技術，對煙塵處理方面優(yōu)勢顯著。其基本原理是在電場在高壓作用下，產(chǎn)生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到氣態(tài) 污染物的目的。

3、廢氣洗滌塔。廢氣由底部，經(jīng)填料層和除霧器后，由頂部。液體被水泵送到噴頭，向下降落，經(jīng)填料層回到水箱。廢氣中的雜質粘附在填料上，后在水流作用下水箱 ,達到截留目的。水箱中的雜質需定期清理，污水需定期排放。廢 氣洗滌塔一般為立式噴淋洗滌填料塔，內(nèi)部噴頭和填料層交替分布。填料具有較大的比表面積，用于兩種流體間的接觸面積。