COMDEL射頻電源維修康戴爾高頻電源CLX2750
美國COMDEL電源維修常見型號包括:CLX2750;CLX2500;CLX-600H;CX600AS;CX-5000S;CX-3500S;CX-2500S;CV500;CDX2000等。
Comdel成立于1966年,總部設(shè)在馬薩諸塞州格洛斯特,為半導(dǎo)體,薄膜,光伏,平板和工業(yè)加熱行業(yè)設(shè)計(jì)和制造射頻和直流電源和過程儀器。 產(chǎn)品包括射頻發(fā)生器,直流發(fā)電機(jī),阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),多通道合成器和靜電卡盤電源等。
維修范圍:刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng),工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源,烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領(lǐng)域應(yīng)用電源,直流偏壓和硬鍍膜,信息設(shè)備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修,為太陽能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設(shè)備電源,包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。
當(dāng)濾波電容上無380VDC左右電壓時(shí),說明PFC電路沒有正常工作,PFC模塊關(guān)鍵檢測腳為電源輸入腳VC,啟動(dòng)腳Vstart/control,C/RT腳及V0腳。,測試一板上濾波電容上無380VDC電壓。VC,Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常,測量場效應(yīng)功率開關(guān)管無V0波形,由于FA5331(PFC)為貼片元件,機(jī)器用久后出現(xiàn)V0端與板之間虛焊,V0信號沒有送到場效應(yīng)管。將V0端與板上焊點(diǎn)焊好,用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓。當(dāng)Vstart/control端為低電平時(shí),PFC亦不能工作,則要檢測其端點(diǎn)與外部相連的有關(guān)電路。