整體數(shù)顯LCD熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)主要是依靠熱式原理，采用新型傳感制作工藝，具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性度好等優(yōu)點(diǎn)。外觀和尺寸都非常小巧，是一款非常適合做成套自動(dòng)化控制的集成智能儀器。

 熱式氣體質(zhì)量流量控制器的主要原理是：在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測(cè)定流量。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。