用于制取磷酸二苯一異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑劑，有機(jī)磷農(nóng)藥，長(zhǎng)效磺胺藥物等。還可用作染料中間體，有機(jī)合成的氯化劑和催化劑、阻燃劑。電子級(jí)三氯氧磷的用途在太陽(yáng)能行業(yè)，集成電路，分離器件，光線預(yù)制棒等液態(tài)磷源也可制備磷酸酯。