大多數(shù)光學(xué)實(shí)驗(yàn)或工業(yè)生產(chǎn)都對(duì)系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動(dòng)會(huì)導(dǎo)致儀器測(cè)量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性，嚴(yán)重干擾生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行，振動(dòng)來(lái)源主要分為來(lái)自系統(tǒng)之外的振動(dòng)和系統(tǒng)內(nèi)部的振動(dòng)，地面固有振動(dòng)，工作人員踩踏地板以及開(kāi)、關(guān)門(mén)或墻壁碰撞等通過(guò)地面?zhèn)鱽?lái)的振動(dòng)均屬系統(tǒng)之外的振動(dòng)，這一類(lèi)振動(dòng)需通過(guò)光學(xué)平臺(tái)的隔振支架衰減；而來(lái)自系統(tǒng)內(nèi)部的振動(dòng)包括儀器振動(dòng)、氣流、冷卻水流等，則需依靠光學(xué)平臺(tái)的桌面阻尼來(lái)隔絕。

隨著光學(xué)加工設(shè)備和測(cè)量?jī)x器精度的不斷提高， 其對(duì)工作環(huán)境的振動(dòng)隔離提出了更加嚴(yán)苛的要求。例如，離子激光器泵浦噴流染料激光器時(shí)，激光器的振動(dòng)要求達(dá)到了微米級(jí)；由于可見(jiàn)光波長(zhǎng)約為0.5微米，即使振動(dòng)在次微米級(jí)別時(shí)，以光的干涉為基礎(chǔ)的實(shí)驗(yàn)（如全息攝影） 也將無(wú)法進(jìn)行； LμmArray 公司的并行激光直寫(xiě)設(shè)備的直寫(xiě)頭振動(dòng)線(xiàn)位移不能超過(guò)15nm ;超精密機(jī)械加工的表面粗糙度要求已經(jīng)達(dá)到 0.1nm  ;高精度掃面探針顯微鏡的雙向分辨率都已達(dá)到亞納米級(jí)。因此，對(duì)光學(xué)加工設(shè)備及光學(xué)測(cè)量?jī)x器進(jìn)行有效的隔振是保證科研生產(chǎn)活動(dòng)正常進(jìn)行的必要條件。

主要特點(diǎn)

臺(tái)面整體采用三層夾心結(jié)構(gòu)，上臺(tái)面為410鐵磁不銹鋼，中心為蜂窩/井字鋼支撐結(jié)構(gòu)，底板為碳鋼，在保證隔振性能得同時(shí)，提高了剛性、穩(wěn)定性，臺(tái)面精磨

平臺(tái)支架采用整體焊接式四支撐結(jié)構(gòu)，上方帶有三加一調(diào)整結(jié)構(gòu)，支架下方具有高度調(diào)整功能，調(diào)整范圍±15mm

隔振支架可以選裝靜音腳輪，方便移動(dòng)

蜂巢式的設(shè)計(jì)大大的減輕了光學(xué)隔振平臺(tái)重量，剛性卻有所增加，保證了較大的限度的機(jī)械穩(wěn)定性，提高了阻尼

臺(tái)面上的M6安裝孔陣列用于固定各種光學(xué)部件，公制孔距為25毫米，英制孔距為1英寸

技術(shù)參數(shù)

水平方式：手動(dòng)調(diào)平

平面度：≤0.5mm/600mm×600mm

固有頻率8-10Hz

臺(tái)面厚度：50/100/200mm

應(yīng)用

光學(xué)實(shí)驗(yàn) 、光靶實(shí)驗(yàn)、對(duì)振動(dòng)要求不高得儀器設(shè)備