氣體動態(tài)配比裝置采用全新傳感生產(chǎn)工藝的高精度熱式氣體質量流量控制器等高品質的國產(chǎn)或進口的組件，結合工控液晶觸摸屏幕，圖形化視圖，讓系統(tǒng)運行更穩(wěn)定、操作更簡便；流量控制部分采用PID閉環(huán)控制技術，響應速度快，流量控制穩(wěn)定、精準；系統(tǒng)中管路接觸部分的材質全部為BA級316L不銹鋼，無易損件，經(jīng)久耐用，后期設備維護成本極低。主要是用于以空氣或氮氣為稀釋氣體的多種氣體的動態(tài)配比，裝置經(jīng)過防腐蝕性和防吸附性處理，除開常規(guī)惰性氣體的濃度比例配比和調節(jié)以外，也適用于腐蝕性和有毒氣體的濃度動態(tài)配比。