噴淋式廢氣處理設(shè)備
此裝置是一個(gè)A B兩單元模,組組成的濕法化學(xué)噴淋清洗系統(tǒng),此系統(tǒng)進(jìn)行除三氯化硼、四氯化硅、氯氣、氨氣和硅烷(SiH 4)的及金屬有機(jī)物化學(xué)物質(zhì)也被分解在洗滌單元中。系統(tǒng)主要組成單元為:WFB1 WFB2容器箱(預(yù)估90L)、液體,流量計(jì)、磁力泵、噴淋裝置、除霧器裝置、廢氣應(yīng)急旁通管路、活性炭過濾器等。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件,性能可靠,使用壽命長;頂部及背部設(shè)有吸風(fēng)口,為防止污染空氣,用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。技術(shù)數(shù)據(jù):氣體總流量<1.8mn3/小時(shí);廢氣:三氯化硼、四氯化硅、氯氣、氨氣、硅烷(SiH4)在H2中為2%;清洗中和溶液及裝置:循環(huán)泵:日本IWAKI品牌磁力泵;噴淋裝置:PPH管道及PPN材質(zhì)噴淋嘴;流量計(jì):美國DWYER品牌的流量計(jì);容器箱:數(shù)量2個(gè)(WFB1、WFB2);材質(zhì):德國聚丙烯(PP);容積:預(yù)估90升;設(shè)備制造:北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB).