噴淋式廢氣處理設(shè)備

此裝置是一個(gè)A B兩單元模,組組成的濕法化學(xué)噴淋清洗系統(tǒng)，此系統(tǒng)進(jìn)行除三氯化硼、四氯化硅、氯氣、氨氣和硅烷（SiH 4）的及金屬有機(jī)物化學(xué)物質(zhì)也被分解在洗滌單元中。系統(tǒng)主要組成單元為：WFB1   WFB2容器箱（預(yù)估90L）、液體,流量計(jì)、磁力泵、噴淋裝置、除霧器裝置、廢氣應(yīng)急旁通管路、活性炭過濾器等。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；頂部及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。技術(shù)數(shù)據(jù):氣體總流量<1.8mn3/小時(shí)；廢氣：三氯化硼、四氯化硅、氯氣、氨氣、硅烷（SiH4）在H2中為2％；清洗中和溶液及裝置:循環(huán)泵：日本IWAKI品牌磁力泵；噴淋裝置：PPH管道及PPN材質(zhì)噴淋嘴；流量計(jì)：美國DWYER品牌的流量計(jì)；容器箱：數(shù)量2個(gè)（WFB1、WFB2）；材質(zhì)：德國聚丙烯（PP）；容積：預(yù)估90升；設(shè)備制造：北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）.