全自動硅片顯影機

適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體照明（LED）、半導(dǎo)體材料、MEMS，集成電路、半導(dǎo)體分立器件、有機發(fā)光二級管（OLED）等；  控制模式：手動控制模式、自動控制模式；  制程應(yīng)用：濕法清洗顯影制程；  適用對象：2-12inch硅片 、藍(lán)寶石基片，2-4 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；  選配模塊：顯影液恒溫系統(tǒng)；顯影液循環(huán)過濾系統(tǒng)；全自動供液系統(tǒng)；消防系統(tǒng)；可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲存建立管理；  功能描述：動作程序要求：原點上料，按啟動，機械手旋轉(zhuǎn)搬運cassette至顯影槽（POS.1）液體內(nèi)，上下運動、頻率、時間可調(diào)，漂（顯影液）時間到，旋轉(zhuǎn)搬運cassette至QDR槽（POS.2）內(nèi)沖水漂洗，靜止等待（或上下運動、頻率可調(diào)）時間可調(diào)，清洗時間到，報警提示（此時花籃在水內(nèi)不升起）按復(fù)位，機械手旋轉(zhuǎn)到QDR槽（POS.2）上方后最后取cassette，  整體布置：設(shè)備前側(cè)上料,前側(cè)下料;本體上面裝有控制面板，每個工藝過程可獨立控制；設(shè)備采用密封結(jié)構(gòu)，配有可拆卸的活動門； 本體后（上）方頂部設(shè)有風(fēng)道； 本體下方為管路區(qū)；  結(jié)構(gòu)構(gòu)造： 設(shè)備主體； 傳送系統(tǒng)； 混液系統(tǒng)；   循環(huán)系統(tǒng)； 過濾系統(tǒng)；  排風(fēng)系統(tǒng)；  電氣控制系統(tǒng)；設(shè)備制造：北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）.