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在機構(gòu)調(diào)研時，混配氣主要是作為蝕刻氣體，芯片過程中的蝕刻階段，二氧化硅非常堅硬，氟氣的腐蝕性非常強，通過腐蝕痕跡留在芯片上。此外，稀有氣體氦氖氪氙氣中氙氣最貴，特別是航空氙氣，純度越高、價格更高，特別是俄羅斯與烏克蘭局勢緊張，價格會持續(xù)走高。