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對(duì)于氣體,純度是衡量氣體質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。作為惰性氣體,氬氣可以用作生產(chǎn)單晶和多晶的保護(hù)氣體。為了提高硅晶體的質(zhì)量,選擇高純度的氬氣非常重要,這不僅可以提高晶體的壽命,而且可以滿足市場(chǎng)需求。
通常,氬氣凈化過(guò)程由清潔裝置實(shí)現(xiàn)。氬氣提純方法可分為直接脫氧法和吸氣劑提純法。
直接脫氧法:活性金屬與氬氣中的氧反應(yīng),消化氬氣中氧,達(dá)到脫氧的目的。分子篩吸附的氬氣中的水分子使氬氣的水含量小于1ppm。
吸氣劑清潔方法:使用吸氣劑清洗劑或干燥劑。吸氣劑可以與氬氣中的痕量單元形成穩(wěn)定的連接,以達(dá)到精煉氬氣的效果。經(jīng)吸氣劑凈化法凈化后,高純度氬氣的純度可達(dá)6個(gè)9。
上述兩種方法是對(duì)氬氣凈化方法的簡(jiǎn)要介紹。相比之下,吸氣劑清洗方法在設(shè)備上投資大,但純度高。這種方法在工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。