在高精密制造領(lǐng)域，EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)的適配性直接影響生產(chǎn)效率，而選擇靠譜的直線電機(jī)源頭廠家至關(guān)重要。漢諾作為擁有 25 年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的直線電機(jī)源頭廠家，專注高精密高穩(wěn)定性直線電機(jī)模組平臺(tái)研發(fā)定制生產(chǎn)，其 EFEM 晶圓前端傳輸系統(tǒng)在適配性上表現(xiàn)突出。

漢諾的 EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)主要適配半導(dǎo)體行業(yè)的多種核心設(shè)備。在晶圓光刻設(shè)備中，該系統(tǒng)可精準(zhǔn)對(duì)接光刻平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)晶圓在加載、曝光、卸載環(huán)節(jié)的平穩(wěn)傳輸，配合漢諾自主研發(fā)的直線電機(jī)，確保傳輸過程中位置偏差控制在微米級(jí)內(nèi)。在晶圓檢測(cè)設(shè)備上，系統(tǒng)能與檢測(cè)探頭協(xié)同作業(yè)，通過壓電平臺(tái)的納米級(jí)微調(diào)功能，讓晶圓與檢測(cè)元件保持穩(wěn)定相對(duì)位置，滿足亞微米級(jí)檢測(cè)需求。

除半導(dǎo)體設(shè)備外，該系統(tǒng)還適配光伏行業(yè)的硅片處理設(shè)備。在硅片清洗、鍍膜等環(huán)節(jié)，EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)可與傳送軌道無縫銜接，憑借氣浮平臺(tái)的無接觸傳輸特性，減少硅片表面損傷。在 LED 面板制造設(shè)備中，系統(tǒng)能適配面板搬運(yùn)機(jī)械臂，通過多軸直線電機(jī)模組的聯(lián)動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)面板在不同加工工位間的精準(zhǔn)轉(zhuǎn)運(yùn)。

作為直線電機(jī)源頭廠家，漢諾的 EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)能適配設(shè)備的關(guān)鍵，在于其完善的研發(fā)生產(chǎn)體系。公司擁有一萬五千平研發(fā)生產(chǎn)車間，推行 6S 生產(chǎn)管理，多名十年以上裝配經(jīng)驗(yàn)的高級(jí)技工參與組裝調(diào)試。同時(shí)配備 10 臺(tái)雷尼紹激光干涉儀、準(zhǔn)直儀等檢測(cè)設(shè)備，確保每臺(tái)系統(tǒng)的機(jī)械精度和運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性。

依托與哈工大等高校的產(chǎn)學(xué)研合作，漢諾的 EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)可根據(jù)設(shè)備需求定制接口規(guī)格和運(yùn)動(dòng)參數(shù)。目前已適配蘋果、華為產(chǎn)業(yè)鏈中的芯片封裝設(shè)備，新能源汽車電池芯片的檢測(cè)設(shè)備，以及光伏組件的精密加工設(shè)備等。80% 的老客戶返單數(shù)據(jù)，也印證了該系統(tǒng)在設(shè)備適配性上的可靠表現(xiàn)。

綜上，漢諾作為直線電機(jī)源頭廠家，其 EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)在半導(dǎo)體、光伏、LED 面板等領(lǐng)域的多種高精密設(shè)備中均能適配，憑借精準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)控制和定制化能力，成為高精密自動(dòng)化設(shè)備廠家的優(yōu)選。

如果您正在為項(xiàng)目尋找高品質(zhì)的直線電機(jī)，不妨聯(lián)系漢諾精密。