1.離子注入用石墨，細顆粒高密度的石墨呈現(xiàn)出很強的抗腐蝕性，即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此。
2.由于離子束的原因，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會造成高的損耗，故這時應用相應的石墨件來作屏蔽罩。
3.我司采用德國西格里石墨，不僅能為各種離子注入機提供石墨屏蔽罩，且提供各種規(guī)格具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。
4.即使在離子轟擊或等離子等極限工作條件下，細粒、高密度石墨也不易受腐蝕。離子轟擊設(shè)備的金屬部件要接觸離子束，磨損嚴重，可使用合適的石墨擋板進行保護。
我司不僅提供石墨擋板，還提供適用于各種注入機的電極和離子源，這些石墨產(chǎn)品都具有耐腐蝕和純度高的優(yōu)點。
