U-III表面顆粒計數(shù)器搭載HeNe激光傳感器，分辨率達0.1微米，支持0.1-5.0微米顆粒粒徑的六通道分類統(tǒng)計（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆蓋半導體制造中對超細微粒的嚴苛檢測需求。

靜態(tài)采樣模式：通過優(yōu)化氣流控制，減少測量誤差，提升數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。

智能化設計與操作體驗

7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。

雙電池熱插拔系統(tǒng)‌：支持連續(xù)生產場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級‌：便捷導出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

行業(yè)應用與效益

提升制造效率

減少50%自凈時間‌：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設備維護周期（PM周期），提升產線吞吐量。

延長MTBC（平均無故障周期）：結合顆�？刂撇呗�，關鍵設備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導體制造：晶圓表面、機臺內腔等關鍵區(qū)域的潔凈度驗證。

精密光學與電子：液晶面板、光學鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國際標準

產品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導體廠商提供標準化檢測工具。