碳化硅懸臂漿，碳化硅擴散槳，設(shè)計特點：1、在高溫環(huán)境下不變形，晶片裝載力大；2、耐極冷急熱，使用壽命長；3、懸臂漿熱膨脹系數(shù)極小，延長了維護清洗的周期；并大幅減少污染物。應(yīng)用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的（擴散）涂層過程中，對硅片在高溫環(huán)境中（1000---1300℃）的承載輸送作用，是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。常規(guī)尺寸有2378毫米，2550毫米，2660毫米等。