騰旋公司的半導(dǎo)體行業(yè)專用旋轉(zhuǎn)接頭又叫水/氣滑環(huán)接頭，在半導(dǎo)體工業(yè)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)CMP、晶圓等制造領(lǐng)域廣泛應(yīng)用；用于輸送研磨液、水、冷卻液、研磨殘?jiān)�、壓縮空氣等流體。采用特種材質(zhì)的機(jī)械密封方案，具有密封性好、壽命長、扭矩低、發(fā)熱量低、耐粉塵殘?jiān)忍攸c(diǎn)，確�？蛻糁鳈C(jī)可靠性高，減少檢修頻次。
半導(dǎo)體行業(yè)M系列旋轉(zhuǎn)接頭
兩通路旋轉(zhuǎn)接頭
型號(hào)：ML02R008F
參數(shù)：
轉(zhuǎn)速：250rpm
介質(zhì)：水 ，0.5MPa
扭矩：＜2N·m
溫升：30℃
流量：暫定
8通路旋轉(zhuǎn)接頭
型號(hào)：ML08R003F
參數(shù)：
轉(zhuǎn)速：200rpm
介質(zhì)：真空 ，0.5bar
氮?dú)?，1.4bar
空氣 ，1.4bar
扭矩：＜3N·m
溫升：30℃
泄漏量：＜1KPa/min
1999年騰旋從無到有，2009開始不斷提升制造能力，擁有了400多臺(tái)全球先進(jìn)的加工設(shè)備，2019年開始大幅度提高試驗(yàn)測(cè)試能力，目前己擁有30多臺(tái)測(cè)試設(shè)備，我們一直在路上。
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