本體數(shù)顯熱式氣體質量流量控制器/流量計BDD-S030C/M主要應用在量程范圍從5SCCM--50SLM之間氣體流量的測量和控制，產(chǎn)品耐壓能達10MPa，采用新型傳感制作工藝，具有響應速度快、準確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性度好等優(yōu)點，適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體（及少數(shù)腐蝕性氣體）。

性能特點：

1、本體數(shù)顯操作方便     2、耐壓3MPa或10MPa

3、抗干擾性強         4、寬壓力范圍

5、流量控制精準        6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠

技術參數(shù)：

氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。

質量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘）   SLM（標準升每分鐘）

標準狀況：溫度--293.15K(20℃)   壓力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示滿量程

應用行業(yè)：

真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、食品科學與工程設備、能源與環(huán)境保護設備、各種分析儀器設備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設備。