形式:箱式一體機,立式前開門,蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不,一體機系統(tǒng),可連接單排雙工位手套箱,中間用DN150超高真空插板閥隔斷。
形式:箱式一體機,立式前開門,蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不,一體機系統(tǒng),可連接單排雙工位手套箱,中間用DN150超高真空插板閥隔斷。
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