動(dòng)態(tài)氣體稀釋設(shè)備SSGM:主要用于氣體比例混合配氣,按比例混合氣體,為設(shè)備后端的實(shí)驗(yàn)腔室營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境。 控制方式采用集成化模塊控制,精度高、抗干擾能力強(qiáng),可根據(jù)客戶要求隨意設(shè)置氣體的流量和濃度范圍,該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,卡套式的連接方式,不單能降低泄漏率,也能方便用戶拆卸。
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