維修包括：PECVD、MOCVD、IONIMP,PLASMA的設(shè)備電源,包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。電源維修的時候，需要檢測一下各功率器件是否存在擊穿短路，例如電源整流橋堆、開關(guān)管、高頻大功率整流管、浪涌電流的大功率電阻是否燒斷等，然后需要再檢測各輸出電壓端口電阻是否異常，如上述器件有損壞的情況我們則需要進行更換器件。

等離子清洗機的原理是等離子體和材料表面進行相互作用的過程，通過等離子體里面的各類活躍粒子撞擊材料表面，從而大大提高材料表面的性能。

等離子表面改性之后，其材料表面會變得更加粗糙，它讓材料表面發(fā)生了刻蝕，在一定程度上滿足了人們對材料表面的清洗要求。等離子清洗技術(shù)要比其他類型的清洗方式要更具優(yōu)勢，能夠大限度的滿足人們多元化的需求。

其次，經(jīng)過等離子表面清洗之后，材料表面就會更具有反應(yīng)性，在這個過程中，活粒子在撞擊材料表面之后，其分子間的化學鍵就會被打開，然后產(chǎn)生大量的大分子基，說白了這個過程就是讓材料表面更加潔凈，例如可提升玻璃表面的親水性。