MKS Delta™系列質量流量比控制器劃分和控制混合過程氣體流量以用戶指定的比例內的多個腔室或區(qū)域，以優(yōu)化過程均勻性和可重復性。 Delta™系列流量比控制器具有出色的性能和緊湊的設計，是MKS的新產品，該產品是流動比控制領域的行業(yè)領導者。

準確且重復控制流量比以更好地優(yōu)化過程

數字控制循環(huán)對通道設定點的快速響應獨立于氣體混合

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MKS 流量控制器 FLOW RATIO CONTROLLER  DLT4B0AAAA8R10  

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