一、半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備概述

半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備主要應(yīng)用在半導(dǎo)體清洗行業(yè)，該設(shè)備采用先進(jìn)的反滲透技術(shù)和ED1技術(shù)，保證設(shè)備的質(zhì)量和出水水質(zhì)。該設(shè)備整體采用先進(jìn)的不銹鋼材質(zhì)，抗腐蝕能力強(qiáng)，同時(shí)也不會(huì)出現(xiàn)生銹問題，質(zhì)量可靠，受到用戶的一致好評(píng)。

二、半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備工作原理

EDI裝置將離子交換樹脂充夾在陰陽離子交換膜之間形成EDI單元，EDI工作原理如下圖所示，EDI組件中將一定數(shù)量的EDI單元間用網(wǎng)狀物隔開，形成濃水室。又在單元組兩端設(shè)置陰陽電極。在直流電的推動(dòng)下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進(jìn)入到濃水室面在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統(tǒng)，成為濃水，ED1設(shè)備一般以反滲透（RO)純水作為EDI給水．RO純水電導(dǎo)率一般是40-2μ Scm(25℃).

EDI純水電阻率可以高達(dá)18MQ.cm(25℃),但是根據(jù)去離子水用途和系統(tǒng)配置設(shè)置，EDI純水適用于制備電阻率要求在1-18. 2MΩ.cm(25℃)的純水。

三、半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備制備工藝

1、預(yù)處理系統(tǒng)反滲透系統(tǒng)一中間水箱粗混合床精混合床純水箱純水泵紫外線殺菌器拋光混床精密過濾器用水點(diǎn)。（≥18MΩ.C0(傳統(tǒng)工藝）

2、預(yù)處理反滲透中間水箱水泵ED1裝置純化水箱一辣水系一紫外線殺菌器一隨光溉床0. 2或0. 5μ=精密過濾器用水點(diǎn)。（＊18MΩ.CM(工藝）

3、預(yù)處理一級(jí)反滲透加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）中間水箱二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）純水箱純水泵EDI裝置紫外線殺菌器0. 2或0. 5μm精密過濾器用水點(diǎn)。（≥17MΩ.00(工藝）

4、預(yù)處理反滲透中間水箱水泵EDI裝置一純水箱純水泵紫外線殺菌器0. 2或0. 5μ=精密過濾器用水點(diǎn)。（≥15Ω.00(工藝）

5、預(yù)處理系統(tǒng)一反涉透系統(tǒng)一中間水箱純水泵一相混合床精混合床紫外線殺菌器一精密過濾器一用水點(diǎn)。（≥15MΩ.CD(傳統(tǒng)工藝）