英國Oxford牛津SRP-4面銅探頭（CMI700/CMI600/CMI563）

 SRP-4面銅探頭測試技術(shù)參數(shù)

Oxford牛津CMI760(CMI700)座臺式孔面銅測厚儀

 l 準(zhǔn)確度：5%，參考標(biāo)準(zhǔn)片

l 精準(zhǔn)度：化學(xué)銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.2 %，電鍍銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.3 %

l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil

l 厚度測量范圍：化學(xué)銅：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

電鍍銅：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

l 線性銅線寬范圍：203μm–7620μm（8mil–300mil