LFHS3 3軸納米位移平臺(tái)
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LFHS3
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運(yùn)動(dòng)范圍XYZ(µm)
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75
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75
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50
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分辨率XYZ(nm)
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0,075
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0,075
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0,05
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典型的噪聲基準(zhǔn)XYZ(nm)
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0,0075
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0,0075
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0,005
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全方位的重復(fù)性XYZ(nm)
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0,15
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0,15
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0,1
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線性化(典型的)
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0,02%
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0,02%
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0,02%
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諧振頻率X / Y / Z(赫茲)
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3000
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2000
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1500
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剛度 X/Y/Z (N/µm)
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4
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3
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3
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最*負(fù)載(kg)-水平使用
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1
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最*負(fù)載(kg)-垂直使用
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0,5
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傳感器
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Silicon HR sensor
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尺寸W x L x H (mm)
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140 x 121 x 33,6
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材料
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Al
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電纜長(zhǎng)度(m)
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2
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推*控制器
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High Speed
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