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晶圓防爆真空固化爐

  • 發(fā)布時(shí)間:2021-10-07 00:00:00,加入時(shí)間:2019年12月13日(距今2108天)
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  • 公司:廣州安菲環(huán)保科技有限公司, 用戶等級(jí):普通會(huì)員 已認(rèn)證
  • 聯(lián)系:李厚麗,手機(jī):13533893339 微信:q969381546 QQ:3067855322

品牌: GYPEX英鵬
型號(hào): ZK-固化系列
價(jià)格: 電議/面議

產(chǎn)品用途:

  本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料

固化的專用設(shè)備,烘箱溫度可達(dá)450℃

性能特點(diǎn):

1.真空度可達(dá)10 Pa

2.精體內(nèi)氧含量:≤20ppm,提供氧含量檢測(cè)接口

3.日本優(yōu)易控觸摸屏,升降溫斜率控制

4.內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作

型號(hào):   ZK-固化系列                                 

內(nèi)箱尺寸(H*W*D)   :   nbsp;                          

控溫范圍 :RT+20℃~450℃

溫度波動(dòng)。±0.5℃

真空度     :0pa

氧含量      :≤20ppm

內(nèi)箱材質(zhì)   :SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質(zhì) :鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料。汗杷徜X纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護(hù)裝置。郝暪鈭(bào)警器 超溫保護(hù)器 Audible and visual alarm, Over Temp

功率    :9.0    12.0

電源    :AC380V±10%3中50HZ

晶圓防爆真空固化爐

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