產(chǎn)品用途：

  本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料

固化的專用設(shè)備，烘箱溫度可達(dá)450℃

性能特點(diǎn)：

1.真空度可達(dá)10 Pa

2.精體內(nèi)氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測(cè)接口

3.日本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制

4.內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作

型號(hào)：   ZK-固化系列                                 

內(nèi)箱尺寸（H*W*D)   ：   nbsp;                          

控溫范圍　：RT+20℃~450℃

溫度波動(dòng)�。�±0.5℃

真空度     ：0pa

氧含量      ：≤20ppm

內(nèi)箱材質(zhì)   ：SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質(zhì)　：鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料�。汗杷徜X纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護(hù)裝置�。郝暪鈭�(bào)警器 超溫保護(hù)器 Audible and visual alarm, Over Temp

功率    ：9.0    12.0

電源    ：AC380V±10%3中50HZ