一、產(chǎn)品概述
銘鴻儀表本產(chǎn)品采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS質(zhì)量流量傳感器技術(shù)，能根據(jù)用戶的需求提供精確的在線流量計量。傳感器系采用獨特的CMOS兼容MEMS工藝制造，保證其具有極高的可靠性。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達(dá)65m/sec。針對不同的應(yīng)用，傳感器可用于測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及 介質(zhì)流速。專門設(shè)計的電路具有放大及微小信號處理功能以保證高精度輸出。
銘鴻自動化不同于其它MEMS傳感技術(shù)，單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過MEMS傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）。當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進(jìn)行測量，通過校準(zhǔn)，專門設(shè)計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計介質(zhì)體積流量。
二、流量芯片測量原理
MEMS質(zhì)量流量計是基于熱擴(kuò)散原理的氣體流量測量儀表，它無須溫壓補(bǔ)償，直接測出流體的質(zhì)量流量。它的突出特點是：可以直接進(jìn)行貿(mào)易結(jié)算；沒有活動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單；操作方便。
金氏定律即熱擴(kuò)散原理。金氏定律：流過熱源的流體分子多少與熱量散失的多少成正比。二是恒溫差法�？捎帽磉_(dá)式來具體說明：
P/ △ T=A+B（Q）m
其中P表示消耗功率；△T表示兩個傳感器之間的溫度差；
Q表示質(zhì)量流量；m表示指數(shù)系數(shù)，
A， B是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。
三、產(chǎn)品應(yīng)用
科教實驗室
醫(yī)療單位
電子單位
各種高純氣體的測量
各種相關(guān)產(chǎn)品配套使用
供氣計量核算
相關(guān)行業(yè)工廠使用
四、技術(shù)參數(shù)
量程比 100:1
精度 1.5級
重復(fù)性 ±1.0 %
響應(yīng)時間 <1秒
工作電源 3.6V電池或12~24VDC
輸出方式 RS485，通信協(xié)議：4-20mADC（可選）
通信協(xié)議 MODBUS(RTU),通信方式：RS485
大流量壓損 100Pa
大工作壓力 1.6MPa
工作溫度 -10~+55℃
儲存溫度 -20~+65℃
工作濕度 10~95%RH(無結(jié)露，無凝露)
顯示內(nèi)容 LCD液晶顯示：瞬時流量、累積流量
過程連接 標(biāo)準(zhǔn)法蘭；或卡套式緊固件
適用介質(zhì) 不含水分的氣體
凡是用于空氣、天然氣和管道有粉塵的一定帶過濾器，過濾目數(shù)為1微米。
DN25 ：（1″MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；
DN19：（6′MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；
DN10：（4′MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；
1.電池電源線。注：3.6V鋰電池，可內(nèi)置，外置方便電池更換。
2.通訊信號線。注：RS485，通信協(xié)議：4-20mADC（可選）
3.外置電源線。注：12~24VDC電源
五、流量范圍：MEMF系列流量計范圍
產(chǎn)品型號 通經(jīng)（mm）接口規(guī)格（NPT）流量范圍
MEMF3025 DN25 1″ 0.7-70m3/h
MEMF3019 DN19 3/4″ nbsp;m3/h
MEMF3010 DN10 1/2″ nbsp;m3/h
MEMF4010 DN10 1/2″ 0.06～6 m3/h 1～100 L/min
MEMF4008 DN8 1/2″ 0.03～3 m3/h 0.5～50L/min
MEMF4006 DN6 1/2″ 0.012～1.2 m3/h 0.2～20 L/min
MEMF5006 DN6 1/4″ 0.2～20 L/min 200～20000 ml/min
MEMF5003 DN3 1/4″ 0.002～0.2 L/min 2～200 ml/min
